Водоподготовка в микроэлектронике
|
Заказать проект
|
Успешная работа любого предприятия микроэлектроники, электронной и оптической промышленности возможна только при соблюдении всех требований технологии изготовления.
При выпуске микроэлектроники очень важна чистота всего оборудования и расходных материалов, а также помещения в которых осуществляется контакт с произведённой продукцией.
Все предприятия радиоэлектронной промышленности потребляют большие объёмы сверхчистой деионизованной воды для выпуска разнообразных компонентов выпускаемых изделий:- микросхемы, микропроцессоры и полупроводники
- индикаторы
- ЖК-дисплеи
- ячейки памяти
- светодиодные устройства
- печатные платы
- электролитические аккумуляторы
Не допускается наличие растворенных минеральных солей и других примесей при контакте с кристаллами кремния. Если какие-то микрочастицы или соли остаются на поверхности изготовленных частей, то это приводит к увеличению процента брака в выпускаемой продукции.
Для различных производственных процессов используются разные степени чистоты: начиная от дистиллята с электропроводностью 5 мкСм/см (электросопротивление 0.2 МОм*см) заканчивая деионизированной сверхчистой водой с сопротивлением 18.2 МОм*см.
В радио-электронной промышленности применяется деионизированная вода согласно условиям РФ ОСТ 11.029.003–80 или по условиям США ASTM D–5127–90
По Российскому отраслевому нормативу выделяется 3 разных класса:
-
B – использование деионизации и предварительной водоочистки
-
Б – обработка класса В на двух ступенях обратного осмоса с применением деионизации, а также наличие примесей, не превышающих 0,2 мкм;
-
А – наивысшая степень очистки, полученная из класса Б с использованием обратного осмоса и электродеионизация.
В стандарте, которым пользуются в США ASTM D-5127-90 предусмотрено 4 типа водоочистки:
-
Е – 1 – ультрачистая, с частицами размером меньше 1мкм
-
E – 2 – содержащая частицы от 1 до 5мкм
-
Е – 3 – содержащая частицы больше 5мкм
-
E – 4 – если разрешается соприкосновение с атмосферой
Характеристики ультрачистой воды, соответствующей ОСТ 11.029.003–80 «Изделия электронной техники. Вода, применяемая в производстве. Марки, технические требования, методы очистки и контроля» и D5127–90 Американского общества измерений и материалов можно посмотреть в таблице:
|
Параметры воды |
Марка согласно ОСТ 11.029.003-80 |
Марка согласно ASTM D-5127-90 |
|||||
|
А |
Б |
В |
Е-1 |
Е-2 |
Е-3 |
Е-4 |
|
|
Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм*см |
18 |
10 |
1 |
18 |
17,5 |
12 |
0,5 |
|
Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более |
1 |
1,5 |
|
|
|
|
|
|
Общий органический углерод, мкг/л, не более |
|
|
|
25 |
50 |
300 |
1000 |
|
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более |
0,01 |
0,05 |
0,2 |
0,005 |
0,01 |
0,05 |
1 |
|
Содержание железа, мг/л, не более |
0,015 |
0,02 |
0,03 |
|
|
|
|
|
Содержание меди, мг/л, не более |
0,005 |
0,001 |
0,002 |
0,5 |
|||
|
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более |
20 |
50 |
не регламент. |
|
|
|
|
|
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более |
2 |
8 |
не регламент. |
|
|
|
|
|
Хлориды, мкг/л, не более |
|
|
|
1 |
10 |
1000 |
|
|
Никель, мкг/л, не более |
|
|
|
0,1 |
1 |
2 |
500 |
|
Нитраты, мг/л, не более |
|
|
|
1 |
5 |
500 |
|
|
Фосфаты, мг/л, не более |
|
|
|
1 |
5 |
500 |
|
|
Сульфат, мг/л, не более |
|
|
|
1 |
5 |
500 |
|
|
Калий, мкг/л, не более |
|
|
|
2 |
5 |
500 |
|
|
Натрий, мкг/л, не более |
|
|
|
0,5 |
1 |
5 |
500 |
|
Цинк, мкг/л, не более |
|
|
|
0,5 |
1 |
5 |
500 |
- поддержание неизменной температуры на входе и выходе с высокой точностью
- осветление и обезжелезивание на станции АКВАФЛОУ FF и дополнительная ступень умягчения на АКВАФЛОУ SF
- обессоливание на обратноосмотической установке АКВАФЛОУ-RO, но чаще применяется 2-х ступенчатая станция АКВАФЛОУ-RO
- глубокое обессоливание по технологии электродеионизации на оборудовании АКВАФЛОУ EDI и достижение с электросопротивлением 14-16 МОм
- финишная система ФСД на особо чистой фильтрующей смоле, использующейся в ядерной технике для получения стабильного электрического сопротивления 18 МОм
- устройство хранения и передачи под азотной подушкой и с петлей рециркуляции, что исключает контактирование с атмосферой и исключает загрязнение углекислым газом. Применение азотной подушки в емкости обязательно, иначе удельное электросопротивление мгновенно уменьшится с 18МОм до 1МОм.
- картриджная микрофильтрация финишная используется для задержания любых компонентов, которые могут образоваться от смолы ФСД и после электродеионизации. устанавливаются картриджи фактически медицинского уровня – стерилизующая микрофильтрация с тонкостью 0,45 или 0,2мкм.
- ультрафиолетовое обеззараживание перед выдачей непосредственно на производственный участок или оборотный контур. Не допускается ни одной живой формы микроорганизмов.
- система постоянного отслеживания и контроля на каждом этапе изготовления, сохранения и подачи по главным показателям: удельная электропроводимость, органический углерод, температура, рН и остальные показатели.
Мы можем предложить:
- готовые решения для блочно-модульных станций. Поставка оборудования производится в собранном виде на раме или в виде контейнерной блочно-модульной станции полной заводской готовности, готовым к быстрому запуску. Это позволяет минимизировать срок производства / строительства водоподготовительной станции;
- реагенты «Экотрит». Для каждого типа оборудования — водоподготовки, котла, оборотной системы и не только — найдется свой реагент. Эта неотъемлемая часть любой подготовки воды в нефтегазовом сегменте полноценно дополняет водоподготовительное оборудование. Реагенты, разработанные нашими специалистами, выпускаются под торговой маркой «ЭКОТРИТ» на собственной производственной площадке. Использование реагентов «ЭКОТРИТ»™ позволяет решить проблемы с коррозией и образованием минеральных и биологических загрязнений в системах тепло- и водоснабжения различных промышленных предприятий нефтегазового комплекса;
- полный комплекс работ и услуг.
